Nikon Litho Booster 1000 – precyzyjniejsza produkcja chipów nowej generacji

Nikon zaprezentował Litho Booster 1000, nowe urządzenie pomiarowe, które kontroluje wyrównanie warstw podczas produkcji chipów. System analizuje każdą płytkę krzemową i przesyła dane korekcyjne do maszyny drukującej układy, by zmniejszyć błędy i zwiększyć wydajność produkcji. Urządzenie trafi do fabryk w drugiej połowie 2026 roku.​

Litho Booster 1000 to urządzenie wspierające produkcję nowoczesnych chipów – może pracować zarówno z maszynami litograficznymi Nikona, jak i innych producentów. Nikon dostarcza stacje pomiarowe od 2018 roku, a nowy model znacząco poprawia dokładność i szybkość działania. Dzisiejsze wyzwanie polega na tym, że współczesne procesory i pamięci składają się z dziesiątek nałożonych na siebie warstw, a każde niedokładne wyrównanie tych warstw prowadzi do wadliwych chipów.​

W chipach 3D, stosowanych np. w aparatach smartfonów (sensory obrazu), pamięciach flash i procesorach, płytki krzemowe są łączone lub składane, co powoduje ich minimalne odkształcenia. Te deformacje – niewidoczne gołym okiem – mogą zniszczyć cały chip, jeśli tylko warstwy nie zostaną idealnie wyrównane. Litho Booster 1000 wykonuje więc setki pomiarów na każdym fragmencie płytki i oblicza precyzyjne poprawki, które następnie automatycznie wprowadza do maszyny drukującej układy.​

Projekt był finansowany częściowo przez japońską agencję rządową NEDO, wspierającą rozwój technologii półprzewodników. System może obsługiwać wiele maszyn litograficznych jednocześnie lub być dedykowany jednemu urządzeniu przy najbardziej wymagających etapach produkcji. Dzięki Litho Booster 1000 fabryki chipów mogą produkować bardziej skomplikowane układy przy zachowaniu wysokiej jakości i mniejszej liczbie wadliwych produktów.​