Chiny przełamują monopol ASML w technologii EUV

Chińskie wysiłki na rzecz uniezależnienia się od zachodnich technologii litograficznych mogą wkrótce przynieść przełom. Najnowszy system litografii ekstremalnego ultrafioletu (EUV) przechodzi właśnie testy w zakładzie Huawei w Dongguan i może poważnie zagrozić dominacji holenderskiej firmy ASML na rynku zaawansowanej produkcji układów scalonych.

EUV to technologia kluczowa dla produkcji najnowocześniejszych procesorów i chipów, umożliwiająca pracę w długości fali 13,5 nm. Obecnie monopol na produkcję tego typu systemów należy do firmy ASML, która stosuje technikę laserowo generowanej plazmy (LPP). Chińskie rozwiązanie opiera się natomiast na alternatywnej metodzie – laserowo indukowanej plazmie wyładowczej (LDP). W metodzie tej między elektrodami odparowywana jest cyna, która następnie zamienia się w plazmę dzięki wysokiemu napięciu, generując fale EUV poprzez zderzenia elektronów z jonami.

Technologia LDP stosowana przez Huawei niesie ze sobą kilka istotnych zalet w porównaniu z rozwiązaniem ASML. Jej prostsza architektura pozwala zmniejszyć gabaryty urządzeń, obniżyć zużycie energii oraz potencjalnie zmniejszyć koszty produkcji. Są to kluczowe atuty, które mogą pomóc Chinom szybciej dogonić Zachód.

Interferometr do montażu i kalibracji obiektywów litograficznych EUV

Rozwój chińskiego systemu EUV nabrał tempa po nałożeniu przez USA sankcji blokujących dostawy technologii ASML dla Chin. Dotychczas chińskie firmy korzystały głównie z systemów DUV, operujących na falach 248 nm i 193 nm, wymagających wielokrotnego nakładania masek, by osiągnąć pożądane efekty. Nowy system EUV stanowi więc istotny krok naprzód, otwierając drogę do uniezależnienia krajowego przemysłu półprzewodników.

Pierwsze próby produkcyjne nowej maszyny EUV zaplanowano na trzeci kwartał 2025 roku, a seryjna produkcja miałaby ruszyć już w 2026. Mimo optymistycznych prognoz eksperci podkreślają, że przed Chińczykami nadal stoją wyzwania związane z osiągnięciem odpowiedniej rozdzielczości, stabilności produkcji oraz integracji nowego systemu z obecnymi liniami produkcyjnymi.

Główni chińscy producenci układów scalonych, jak SMIC, już współpracują z Huawei, aby skutecznie wdrożyć technologię EUV. Jeśli projekt zakończy się sukcesem, może to całkowicie zmienić globalną równowagę w sektorze technologicznym, zmuszając ASML do obrony swojej pozycji na rynku wartym setki milionów dolarów.